快科技9月15日消息，阿斯麦管理层透露 ，正研究于2028年生产逾110部极紫外光（EUV）光刻机 ，以应对AI带动的需求 。
阿斯麦早前表示，2027年EUV光刻机产能几近售罄 ，当年可生产至少80部 ，并计划在2028年将产量提高约30% 。
近来 需求仍然非常强劲，大部分新订单已是2028年交付。阿斯麦扩大EUV产量的主要限制并非供应链，而是EUV光刻机的组装速度 。
摩根大通分析师预计 ，英特尔在2027年将再次成为阿斯麦的重要客户；马斯克正在筹建的Terafab则被列为正在发展中的新客户 。
阿斯麦下一代高数值孔径EUV光刻机的客户包括英特尔、三星电子和SK海力士等。
其中 ，英特尔已在其18A工艺上提前使用该尖端设备。此前英特尔晶圆代工部门宣布，采用高数值孔径极紫外光刻（High-NA EUV）技术处理的晶圆累计量已突破100万片 。
三星和SK海力士计划在2028年启用新设备；台积电态度相对保守 ，计划在2030年投入使用高数值孔径EUV光刻机 。
（文章来源：快科技）
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